Lézeres tisztítás a félvezetőipar számára

Ahogy a félvezető technológia folyamatosan zsugorodik, a fejlett integrált áramköri eszközök síkból háromdimenziós szerkezetekké alakultak át. Az integrált áramkörök gyártási folyamata egyre bonyolultabbá válik, és gyakran több száz vagy akár több ezer folyamatlépést tesz szükségessé. Fejlett félvezető eszközök gyártása esetén minden egyes folyamat után többé-kevésbé szemcsés szennyező anyagok, fémmaradványok vagy szerves maradványok lesznek a szilíciumlapka felületén. Az eszközök méretének folyamatos zsugorodása és a háromdimenziós eszközszerkezetek egyre bonyolultabbá válása félvezetővé tette az eszközöket egyre érzékenyebbek a részecskeszennyeződésekre, a szennyeződések koncentrációjára és mennyiségére.

A szilíciumlapkák maszkfelületén lévő szennyezett részecskék tisztítási technológiájával szemben magasabb követelményeket támasztanak. A legfontosabb szempont a szennyezett részecskék és a szubsztrátum közötti hatalmas adszorpciós erő leküzdése. Jelenleg sok félvezetőgyártó alkalmaz savas tisztítási módszereket. A mosás és a kézi törlés nemcsak nem hatékony, hanem másodlagos szennyezést is okoz. Tehát milyen tisztítási módszer alkalmas jelenleg a félvezető termékek tisztítására? A lézeres tisztítás jelenleg alkalmasabb módszer. Amikor a lézer átpásztázza, az anyag felületén lévő összes szennyeződés eltávolítódik, és a résekben lévő szennyeződések eltávolításra kerülnek. Könnyen eltávolítható, nem karcolja meg az anyag felületét, és nem okoz másodlagos szennyezést. Ez egy biztonságos választás.

Ezen túlmenően, mivel az integrált áramköri eszközök mérete folyamatosan csökken, az anyagveszteség és a felületi érdesség a tisztítási folyamat során olyan problémákká vált, amelyekre figyelni kell. A részecskék anyagveszteség és mintakárosodás nélküli eltávolítása a legalapvetőbb követelmény. A lézeres tisztítási technológia egyedülálló kontaktussal rendelkezik, nincs hőhatás, nincs felületi sérülés a tisztítandó tárgyban, és nincs másodlagos szennyeződés, amelyek a hagyományos tisztítási módszerek összehasonlíthatatlan előnyei. Ez a legjobb tisztítási módszer a félvezető eszközök szennyezésének megoldására.